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安徽外延科技申请智能从动化薄膜制备表征系统
专利摘要显示，包罗进料设备、多个传样腔盒、多个实空机械臂和多个传样布局，进料设备用于毗连传样腔盒，相邻的两个传样腔盒之间以及进料设备取传样腔盒之间均设置有传样布局，多个察看窗间隔设置正在腔盒本体上且下端向下伸入腔盒本体的内部，多个实空机械臂逐个对应地设置正在多个传样腔盒及进料设备内，实空机械臂的夹持端可伸入对应的传样布局内。本发现可以或许处理实空和非实空设备的互联以及高效流水线样品传输。
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